[发明专利]一种晶粒分拣装置以及分拣方法在审
| 申请号： | 202010549792.3 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN111715562A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 王胜利 | 申请（专利权）人： | 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/36 | 分类号： | B07C5/36;B07C5/38;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 任志龙 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体晶粒分拣的技术领域，涉及一种晶粒分拣装置以及分拣方法，主要方案涉及一种晶粒分拣装置，包括依次设置的顶出件、待分料架、转运件，以及存料架，所述存料架上设有用于存放晶粒的存料膜件，所述存料架上沿垂直于所述存料膜件的方向滑移连接有滑动件，所述滑动件上具有能够抵触在所述存料膜件上的支撑区。本申请具有以下效果：支撑区将会对存料膜件进行支撑，在整个过程中，减小存料膜件表面发生形变的可能性，从而提高晶粒存放的效果，并且也减小了每次存放对原先位于存料膜件上的晶粒粘附效果的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶粒 分拣 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
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