[发明专利]涂布系统及其校正方法有效
申请号: | 202010542772.3 | 申请日: | 2020-06-15 |
公开(公告)号: | CN113019835B | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
发明(设计)人: | 张胜凯 | 申请(专利权)人: | 南亚科技股份有限公司 |
主分类号: | B05C13/02 | 分类号: | B05C13/02 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 浦彩华;姚开丽 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种涂布系统及其校正方法,涂布系统包括多个支撑针、吸附平面以及校正盘。吸附平面位于多个支撑针之间,校正盘用以配置在多个支撑针或吸附平面上。校正盘包括圆形上部表面以及圆形底部表面。圆形底部表面相对于圆形上部表面。圆形底部表面包括圆形平面以及围绕圆形平面的承靠壁,且圆形平面的边缘和圆形底部表面的边缘同心。承靠壁用以限制多个支撑针的水平移动,且圆形平面用以覆盖吸附平面。借此,本发明的涂布系统,可以有效校正支撑针和吸附平面的位置。 | ||
搜索关键词: | 系统 及其 校正 方法 | ||
【主权项】:
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