[发明专利]氧化物薄膜晶体管及其制备方法、OLED显示面板及装置在审
| 申请号： | 202010522293.5 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111554751A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 崔容豪;玄丽燕;李媛;仇翠红 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/06;H01L21/336;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 王婷;姜春咸 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种氧化物薄膜晶体管及其制备方法、OLED显示面板、OLED显示装置，该氧化物薄膜晶体管包括：衬底；设置于所述衬底之上的栅极绝缘层；设置于所述栅极绝缘层之上的栅极层；设置于所述衬底之上，且覆盖所述栅极绝缘层和所述栅极层的层间绝缘层，所述层间绝缘层为有机材料层。本申请提供的该氧化物薄膜晶体管，可以避免现有技术中因ILD层断线，或阶梯覆盖性较差而出现空洞等缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 薄膜晶体管 及其 制备 方法 oled 显示 面板 装置 | ||
【主权项】：
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