[发明专利]一种带断屑槽硬质合金刀片化学机械抛光设备控制系统

摘要

一种带断屑槽硬质合金刀片化学机械抛光设备控制系统，包括触摸屏、变频模块、抛光液供给模块、振动模块、升降模块；触摸屏用于设置夹具转速、抛光液温度、抛光液流量、抛光时间，振动频率、以及抛光头位置；变频模块控制主电机的转速，抛光液供给模块控制抛光液的温度和流量；振动模块控制抛光头振动电机的振动频率；升降模块控制抛光头的位置；系统启动后，抛光液供给模块调节抛光液温度到达设定温度值，使温度满足要求后，启动主电机、振动电机、抛光液开始供液，开始计时，自动记录抛光液温度和流量数据并保存，到达设定的抛光时间后，系统自动停机；本发明具有操作简单，控制方便，运行可靠的优点。