[发明专利]一种半导体工艺设备中的测温装置及半导体工艺设备在审
| 申请号： | 202010450581.4 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111609936A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 王石 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00;G01J5/02 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体工艺设备中的测温装置及半导体工艺设备，其中测温装置包括：红外测温仪；红外测温仪夹紧件，用于夹紧于红外测温仪；调节机构，设置在工艺腔室上，红外测温仪夹紧件设置在调节机构上，调节机构包括：承载块，用于承载红外测温仪夹紧件，承载块上与红外测温仪对应的位置处设置有通光部；调整部件，设置于工艺腔室上，位于承载块下方，与承载块连接，调整部件用于调整承载块相对于竖直方向的倾斜角度和/或相对于工艺腔室的水平位置，以调整红外测温仪相对于竖直方向的倾斜角度和/或相对于工艺腔室的水平位置。本发明的测温装置能够测量待测部件不同区域的温度分布。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 工艺设备 中的 测温 装置 | ||
【主权项】：
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