[发明专利]一种芯片蚀刻设备

摘要

本发明公开了一种芯片蚀刻设备，其结构包括蚀刻机、导轨、操作台、喷淋头、升降端、护罩，导轨嵌固于蚀刻机的内壁位置，操作台安装于蚀刻机的内部位置，升降端与导轨活动卡合，护罩与蚀刻机铰链连接，喷淋头与升降端为一体化结构，通过升降端带动喷淋头进行下降，通过操作台上的芯片对喷淋头上的阻流板产生向上的推力，能够使阻流板沿着外框向上摆动，从而使阻流板倾斜的面能够与芯片的边侧相贴合，通过升降端喷出的腐蚀液体对引导机构上的增力面产生的推力，能够使引流板沿着板面向下滑动，直至与引流板底部与导块的表面相贴合，从而使腐蚀液体能够沿着两个引流板之间喷出。