[发明专利]手套箱及其水氧去除方法在审
| 申请号： | 202010413350.6 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111571644A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 倪奎;黄伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B25J21/02 | 分类号： | B25J21/02 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种手套箱及其水氧去除方法，该手套箱包括：箱体，箱体包括进气口、尾气出口、循环风口、以及介质入口；循环净化系统，与循环风口相互连接，从而和箱体形成循环相通的气路；水氧侦测器，设置于箱体内，用于侦测手套箱内水分和氧分的含量；尾气处理机，与尾气出口相连，用于对手套箱排出的尾气进行处理；其中，进气口用于向箱体内通入惰性气体，介质入口用于向箱体内通入与水、氧气反应的介质。通过向箱体内通入能与水、氧气发生反应的介质，从而去除箱体内的水和氧气，然后再让手套箱进入循环状态，无需高纯氮气对箱体内的水氧连续清除的操作，大大缩短了手套箱水氧清除的时间，同时节省了大量的高纯氮气。 | ||
| 搜索关键词： | 手套 及其 去除 方法 | ||
【主权项】：
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