[发明专利]手套箱及其水氧去除方法在审
申请号: | 202010413350.6 | 申请日: | 2020-05-15 |
公开(公告)号: | CN111571644A | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 倪奎;黄伟 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | B25J21/02 | 分类号: | B25J21/02 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 唐秀萍 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 手套 及其 去除 方法 | ||
1.一种手套箱,其特征在于,包括:
箱体,所述箱体包括进气口、尾气出口、循环风口、以及介质入口;
循环净化系统,所述循环净化系统与所述循环风口相互连接,从而与所述箱体形成循环相通的气路;
水氧侦测器,设置于所述箱体内,用于侦测手套箱内水分和氧分的含量;
尾气处理机,与所述尾气出口相连,用于对所述手套箱排出的尾气进行处理;
其中,所述进气口用于向所述箱体内通入惰性气体,所述介质入口用于向所述箱体内通入与水、氧气反应的介质,所述介质用于去除所述箱体内的水和氧气。
2.如权利要求1所述的手套箱,其特征在于,所述介质入口包括第一介质入口和第二介质入口,所述第一介质入口用于向所述箱体内通入与水反应的第一介质;所述第二介质入口用于向所述箱体内通入与氧气反应的第二介质。
3.如权利要求1所述的手套箱,其特征在于,所述介质入口为气体介质入口。
4.如权利要求1所述的手套箱,其特征在于,所述手套箱还包括加热管路,所述加热管路与所述介质入口连接,用于对通入所述箱体的介质进行加热。
5.如权利要求1所述的手套箱,其特征在于,所述手套箱还包括不锈钢槽,所述不锈钢槽放置于所述箱体的腔体底部,用于接收反应副产物。
6.一种手套箱水氧去除方法,用于去除手套箱内的水氧,其特征在于,所述手套箱包括:箱体,所述箱体包括进气口、尾气出口、循环风口、以及介质入口;循环净化系统,所述循环净化系统与所述循环风口相互连接,从而与所述箱体形成循环相通的气路;水氧侦测器,设置于所述箱体内,用于侦测手套箱内水分和氧分的含量;尾气处理机,与所述尾气出口相连,用于对所述手套箱排出的尾气进行处理;其中,所述进气口用于向所述箱体内通入惰性气体,所述介质入口用于向所述箱体内通入与水、氧气反应的介质,所述介质用于去除所述箱体内的水和氧气;所述水氧去除方法包括:
打开所述介质入口,向所述箱体内通入介质,使所述介质与所述手套箱内的水、氧气进行反应;
当所述水氧侦测器侦测到所述箱体内的水氧含量低于预定值时,关闭所述介质入口,停止通入所述介质;
打开所述进气口、所述尾气出口和所述尾气处理机,向所述箱体内通入惰性气体,将所述箱体内的气体从所述尾气出口排出,并被所述尾气处理机处理;
打开所述循环风口和所述循环净化系统,使所述手套箱进入循环状态。
7.如权利要求6所述的手套箱水氧去除方法,其特征在于,所述打开所述介质入口,向所述箱体内通入介质的步骤还包括:
通过与所述介质入口相连的加热管路,对所述介质进行加热处理。
8.如权利要求7所述的手套箱水氧去除方法,其特征在于,所述介质为三甲基铝气体。
9.如权利要求6所述的手套箱水氧去除方法,其特征在于,所述通过介质入口,向箱体内通入介质的步骤包括:
通过第一介质入口,向所述箱体内通入与水反应的第一介质;
通过第二介质入口,向所述箱体内通入与氧气反应的第二介质。
10.如权利要求6所述的手套箱水氧去除方法,其特征在于,所述去除方法还包括:
清理不锈钢槽内的反应副产物,保持所述箱体内的洁净。
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