[发明专利]手套箱及其水氧去除方法

说明书

本发明提供了一种手套箱及其水氧去除方法，该手套箱包括：箱体，箱体包括进气口、尾气出口、循环风口、以及介质入口；循环净化系统，与循环风口相互连接，从而和箱体形成循环相通的气路；水氧侦测器，设置于箱体内，用于侦测手套箱内水分和氧分的含量；尾气处理机，与尾气出口相连，用于对手套箱排出的尾气进行处理；其中，进气口用于向箱体内通入惰性气体，介质入口用于向箱体内通入与水、氧气反应的介质。通过向箱体内通入能与水、氧气发生反应的介质，从而去除箱体内的水和氧气，然后再让手套箱进入循环状态，无需高纯氮气对箱体内的水氧连续清除的操作，大大缩短了手套箱水氧清除的时间，同时节省了大量的高纯氮气。

技术领域

本申请涉及显示领域，尤其涉及一种手套箱及其水氧去除方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示器由于具有结构简单、自发光、响应速度快、超轻薄、低功耗等优点，正被各大显示器厂商大力开发。

OLED部分制程需要在氮气环境，即手套箱内进行。手套箱氮气环境的建立一般是先用高纯氮气(≥99.999％)进行清除操作赶走箱体内的水氧，当水氧含量达到一个很低的值(如100ppm)时进入循环状态，用铜触媒和分子筛分别去除剩余的养分和水分，以使手套箱内水氧达到1ppm(Parts Per Million，百万分比浓度)以下。目前30m³手套箱需要连续清除至少3个小时，同时耗费大量的高纯氮气。

因此，现有手套箱存在水氧清除时间长的技术问题。

发明内容

本发明提供一种手套箱及其水氧去除方法，以解决现有手套箱存在水氧清除时间长的技术问题。

为解决以上问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种手套箱，其包括：

箱体，所述箱体包括进气口、尾气出口、循环风口、以及介质入口；

循环净化系统，所述循环净化系统与所述循环风口相互连接，从而与所述箱体形成循环相通的气路；

水氧侦测器，设置于所述箱体内，用于侦测手套箱内水分和氧分的含量；

尾气处理机，与所述尾气出口相连，用于对所述手套箱排出的尾气进行处理；

其中，所述进气口用于向所述箱体内通入惰性气体，所述介质入口用于向所述箱体内通入与水、氧气反应的介质，所述介质用于去除所述箱体内的水和氧气。

在本发明提供的手套箱中，所述介质入口包括第一介质入口和第二介质入口，所述第一介质入口用于向所述箱体内通入与水反应的第一介质；所述第二介质入口用于向所述箱体内通入与氧气反应的第二介质。

在本发明提供的手套箱中，所述介质入口为气体介质入口。

在本发明提供的手套箱中，所述手套箱还包括加热管路，所述加热管路与所述介质入口连接，用于对通入所述箱体的介质进行加热。

在本发明提供的手套箱中，所述手套箱还包括不锈钢槽，所述不锈钢槽放置于所述箱体的腔体底部，用于接收反应副产物。

同时，本发明提供一种手套箱水氧去除方法，用于去除手套箱内的水氧，所述手套箱包括：箱体，所述箱体包括进气口、尾气出口、循环风口、以及介质入口；循环净化系统，所述循环净化系统与所述循环风口相互连接，从而与所述箱体形成循环相通的气路；水氧侦测器，设置于所述箱体内，用于侦测手套箱内水分和氧分的含量；尾气处理机，与所述尾气出口相连，用于对所述手套箱排出的尾气进行处理；其中，所述进气口用于向所述箱体内通入惰性气体，所述介质入口用于向所述箱体内通入与水、氧气反应的介质，所述介质用于去除所述箱体内的水和氧气；所述水氧去除方法包括：