[发明专利]具有空气腔的氮化镓微波毫米波晶体管结构及制备方法在审
| 申请号： | 202010409092.4 | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN111710715A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 刘志宏;郎英杰;张进成;王泽宇;朱肖肖;周弘;赵胜雷;张雅超;段小玲;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L21/335;H01L29/06;H01L29/20 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 李园园 |
| 地址： | 710000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有空气腔的氮化镓微波毫米波晶体管结构，其特征在于，包括：具有氮化镓外延结构的晶圆；栅电极、源电极和漏电极，栅电极、源电极和漏电极均位于晶圆上；表面钝化层，位于晶圆上；第一中间介质层和第二中间介质层，分别位于漏电极和源电极上；掩膜层，掩膜层位于第一中间介质层和第二中间介质层上，且掩膜层、第一中间介质层和第二中间介质层、表面钝化层、漏电极和源电极在栅电极周围围绕成一空气腔；表面保护层，表面保护层位于掩膜层上。本发明去除了源电极和漏电极之间的介质，形成一个空气腔，显著减少了源电极、栅电极和漏电极之间的寄生电容，提升了器件的频率性能。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 空气 氮化 微波 毫米波 晶体管 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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