[发明专利]一种陶瓷电容式压力传感器导电薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202010400628.6 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN111690902A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 邵海成;乔冠军;刘炘城;黄清伟;刘桂武;张相召;陆浩杰 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/04;C23C14/02;C23C14/58;G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种陶瓷电容式压力传感器导电薄膜的制备方法。该方法为：一、陶瓷基底表面打磨、清洗、烘干；二、磁控溅射镀制导电薄膜；三、高温热处理。本发明以金靶材和钛靶材作为主要原材料，制备的Ti/TiAu/Au的导电薄膜，Ti作为打底层，TiAu合金作为过渡层，Au作为导电层，大大降低了Au导电层的厚度，导电薄膜与陶瓷基底附着力强，结合强度高，导电性能好。本发明在磁控溅射制备导电薄膜后经过热处理，可增强导电薄膜与陶瓷基底的附着力，解决了陶瓷压力传感器芯片在高温焊接时出现电极呈“孤岛”状而失去导电性能的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 电容 压力传感器 导电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏大学，未经江苏大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010400628.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：自适应电池包电路
- 下一篇：一种装配式天然石材透光背景墙干挂系统
- 同类专利
- 专利分类
