[发明专利]一种微流控芯片批量对齐键合装置有效
| 申请号： | 202010400554.6 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN111495453B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 梅塔格斯·加绍·艾哈迈德;蔡俊杰 | 申请（专利权）人： | 德运康明（厦门）生物科技有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市翔*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微流控芯片批量对齐键合装置，其包括两个键合板，两个所述键合板之间相互铰接，其一所述键合板表面开设有至少一个用于放置基片的基片槽，另一所述键合板表面开设有用于放置盖片的盖片槽，两个所述键合板相互转动盖合时，所述基片槽与盖片槽相对应，两个所述键合板均设置有用于抵紧基片和盖片的弹性固定件。本发明具有提高芯片键合成功率以及键合效率的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微流控 芯片 批量 对齐 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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