[发明专利]基于无衍射光束测量圆筒形件内壁表面形貌的装置与方法在审
| 申请号： | 202010374790.5 | 申请日： | 2020-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN111336946A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 马国鹭;刘丽贤;赵登峰 | 申请（专利权）人： | 西南科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙) 51241 | 代理人： | 胡文莉 |
| 地址： | 621010 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提出一种基于无衍射光束测量圆筒形件内壁表面形貌的装置与方法，采用圆锥透镜产生无衍射光束，再用放于圆筒内的分束镜将光线反射到被测工件内壁。工件内壁的反射光线与反射镜的反射光线形成的光程差进而产生干涉现象，再通过信号处理系统进行数据的采集和处理。由于圆筒内壁表面形貌不可能绝对光滑，存在凹凸不平的起伏，这使光程差发生变化，导致干涉图样发生弯曲变形，则可通过弯曲量计算得到该处表面形貌的起伏程度，进而表征圆筒内壁表面的光整程度。本发明无需旋转工件，只需将工件轴向进给即可得到整个工件内壁的表面形貌，具有操作简单、误差小、效率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 衍射 光束 测量 圆筒 内壁 表面 形貌 装置 方法 | ||
【主权项】：
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