[发明专利]一种谐振器结构及其制造方法在审
| 申请号： | 202010372867.5 | 申请日： | 2020-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN111490742A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 季泳;刘胜伟 | 申请（专利权）人： | 贵州省高新光电材料及器件研究院有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/05;H03H9/10 |
| 代理公司： | 贵州派腾知识产权代理有限公司 52114 | 代理人： | 宋妍丽 |
| 地址： | 550000 贵州省贵阳市贵阳国家高新*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种谐振器结构，包括衬底和中间层；所述中间层由底布拉格反射层、底电极层、压电层、顶电极层、顶布拉格反射层逐层溅射构成，中间层溅射在衬底上。本发明还提供一种谐振器的制造方法。本发明能够成功实现谐振器的量产，且制造过程能够与集成电路COMS工艺兼容减少集成电路面积，从而提高集成度；成品具有平整的表面和平缓变化的边界；机械牢度强，结构简单稳定，非常适用于恶劣环境的高要求射频领域和特殊传感系统使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振器 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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