[发明专利]硅上液晶装置镜金属工艺有效
| 申请号： | 202010348010.X | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111856808B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 张明;钱胤;翁立波;戴森·H·戴;刘家颖;刘嘉蓉 | 申请（专利权）人： | 豪威科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;G02F1/136 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘媛媛 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请案涉及一种硅上液晶装置镜金属工艺。反射型半导体装置包含安置在半导体层中的集成电路。第一多个镜形成在所述半导体层上方的镜层中，并且所述第一多个镜中的每一者彼此间隔开至少均匀宽度。薄电介质膜层覆盖所述第一多个镜的侧壁及在经间隔开的第一多个镜之间的区中的所述半导体层。第二多个镜形成在所述第一多个镜的所述薄电介质膜层覆盖的侧壁之间及覆盖所述半导体层的所述薄电介质膜层上方的所述镜层中。所述第一及第二多个镜中的每一者具有均匀宽度，并且耦合到安置在所述半导体层中的所述集成电路。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶 装置 金属工艺 | ||
【主权项】：
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