[发明专利]一种基于分段PI模型的纳米定位平台补偿控制方法在审

专利信息
申请号: 202010342786.0 申请日: 2020-04-27
公开(公告)号: CN111459021A 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 安冬;杨奕潇;须颖;李昊东;刘振鹏 申请(专利权)人: 沈阳建筑大学
主分类号: G05B11/42 分类号: G05B11/42
代理公司: 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 代理人: 陈曦
地址: 110168 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明的一种基于分段PI模型的纳米定位平台补偿控制方法,其步骤为:首先获取压电材料在往复线性电压下非线性特征的实验数据;再根据所得非线性特征的迟滞率判断数据是否满足分段点的条件;其次,将分段后的数据分别进行建模并求逆;最后按序将逆模型用于非线性特征补偿。本发明的补偿控制方法,应用于精密机械电子工程领域中使用微纳定位平台的各产品,能够对较为复杂的往复线性电压下的压电材料非线性特征进行建模,并达到高精度补偿效果。
搜索关键词: 一种 基于 分段 pi 模型 纳米 定位 平台 补偿 控制 方法
【主权项】:
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