[发明专利]具有磨粒的蓝宝石晶片及其制备方法、蓝宝石修整器有效
| 申请号： | 202010323878.4 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111590467B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 徐良;杨新鹏;郑小琳;蓝文安;刘建哲;余雅俊;夏建白;李京波;黄仕华;占俊杰 | 申请（专利权）人： | 金华博蓝特新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B53/12;C30B29/20;C30B33/10;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 321000 浙江省金华市婺城区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有磨粒的蓝宝石晶片及其制备方法、蓝宝石修整器，该制备方法包括以下步骤：在蓝宝石晶片上依次形成氧化硅层和光刻胶层；通过光刻工艺和刻蚀工艺，在所述蓝宝石晶片上形成裸露于外的氧化硅掩膜图形；以所述氧化硅掩膜图形为掩膜对所述蓝宝石晶片进行侵蚀处理；通过清洗工艺，在所述蓝宝石晶片上形成磨粒。通过在蓝宝石晶片表面侵蚀出多个特定形状的磨粒，并且磨粒的排列具有高度的有序性，以提升修整效果。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 蓝宝石 晶片 及其 制备 方法 修整 | ||
【主权项】：
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