[发明专利]一种背钝化太阳能电池及其制备方法

摘要

本申请公开了背钝化太阳能电池制备方法，包括获得太阳能电池的前驱体，前驱体包括由上至下依次层叠的隧穿层、发射极层、P型硅片；将前驱体置于链式或板式机台的炉腔，控制炉腔温度在170℃至190℃之间，并向炉腔内通入臭氧，在前驱体的下表面形成氧化硅层；在氧化硅层的下表面形成钝化层；在隧穿层的上表面形成第一减反层；在钝化层的下表面形成第二减反层，并对第二减反层进行开孔处理，得到处理后减反层；在第一减反层的上表面形成正面电极，并在处理后减反层的下表面形成背面电极。在制备氧化硅层时是用链式或板式热臭氧氧化法形成，有利于P型硅片的运输，且温度在170‑190℃之间，致密度提升，能耗降低。本申请还提供一种电池。