[发明专利]钙钛矿/N型TOPCon/钙钛矿叠层太阳能电池的制备方法有效

专利信息
申请号: 202010316314.8 申请日: 2020-04-21
公开(公告)号: CN111525037B 公开(公告)日: 2023-05-12
发明(设计)人: 崔义乾;吴伟梁;乔振聪;马丽敏;陈浩;刘志锋;林建伟 申请(专利权)人: 泰州中来光电科技有限公司
主分类号: H10K71/00 分类号: H10K71/00;H01L31/20;H01L31/0747;H10K30/40;H10K30/50;H10K39/15
代理公司: 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 代理人: 李托弟;李红
地址: 225500 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种钙钛矿/N型TOPCon/钙钛矿叠层太阳能电池的制备方法,该方法包括:(1)、在双面制绒后的硅基体双面制备p+掺杂区域;(2)、将硅基体的一面放入酸性溶液中刻蚀,以去除背面p+掺杂区域;(3)在硅基体背面制备隧穿氧化层和本征非晶硅层;(4)对硅基体的本征晶硅层进行掺杂处理,并清洗;(5)、对硅基体退火,以形成掺杂的多晶硅薄膜;并去除正面的硼硅玻璃层;(6)、在硅基体的双面制备复合层;(7)在硅基体的正面复合层上依次制备正面电子传输层、正面钙钛矿吸收层和正面空穴传输层;在硅基体的背面复合层上依次制备背面空穴传输层、背面钙钛矿吸收层和背面电子传输层;(8)、在硅基体的双面制备金属电极。
搜索关键词: 钙钛矿 topcon 钙钛矿叠层 太阳能电池 制备 方法
【主权项】:
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