[发明专利]对准机日志分析系统及方法在审
| 申请号： | 202010291424.3 | 申请日： | 2020-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN113534611A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 李晨 | 申请（专利权）人： | 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 刘小峰 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了提供一种对准机日志分析系统，包含与对准机通信连接的计算机，计算机具有存储器和处理器，其中，存储器包含第一存储单元和第二存储单元，其中，第一存储单元储存与至少一台对准机的工作流程相关的生产日志，第二存储单元储存与经至少一台对准机加工的晶圆的产品参数相关的产品日志；处理器配置为将第一存储单元内的生产日志与第二存储单元内的产品日志相关联，并通过生产日志的显示界面访问与生产日志对应的产品日志。该对准机日志分析系统有效节省了查找时间并增强了可视性。本发明同时提供一种使用该对准机日志分析系统进行日志分析的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 日志 分析 系统 方法 | ||
【主权项】：
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