[发明专利]电子元件针测装置有效
| 申请号： | 202010280606.0 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN112098692B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 傅康晏;罗雅鸿;蔡守仁;顾伟正 | 申请（专利权）人： | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 王玉双;张燕华 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电子元件针测装置，包含机架、测试机、旋转测试平台以及探针模块。测试机可沿X方向及垂直X方向的Y方向位移地设置于机架。旋转测试平台可绕沿X方向延伸的转动轴转动地设置于机架，垂直X方向及Y方向为Z方向，旋转测试平台与测试机位于不同的Z方向位置上。探针模块设置于旋转测试平台上。 | ||
| 搜索关键词： | 电子元件 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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