[发明专利]电子元件针测装置有效
申请号: | 202010280606.0 | 申请日: | 2020-04-10 |
公开(公告)号: | CN112098692B | 公开(公告)日: | 2023-10-20 |
发明(设计)人: | 傅康晏;罗雅鸿;蔡守仁;顾伟正 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 王玉双;张燕华 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子元件 装置 | ||
1.一种电子元件针测装置,其特征在于,包含:
一机架;
一测试机,能够沿一X方向及垂直所述X方向的一Y方向位移地设置于所述机架;
一旋转测试平台,能够绕沿所述X方向延伸的一转动轴转动地设置于所述机架,垂直所述X方向及所述Y方向为一Z方向,所述旋转测试平台与所述测试机位于不同的所述Z方向位置上;以及
一探针模块,设置于所述旋转测试平台上。
2.根据权利要求1所述的电子元件针测装置,其特征在于,所述旋转测试平台的相对两侧分别具有一转轴,所述转轴能够转动地设置于所述机架。
3.根据权利要求2所述的电子元件针测装置,其特征在于,更包含一蜗轮及一蜗杆,所述蜗轮连接所述转轴,所述蜗杆与所述蜗轮啮合。
4.根据权利要求2所述的电子元件针测装置,其特征在于,更包含一限止结构,设置于所述转轴,所述限止结构具有一第一平面及一第二平面,在所述转轴转动过程中,所述第一平面及所述第二平面抵靠所述机架,使所述转轴转动范围小于360度。
5.根据权利要求1所述的电子元件针测装置,其特征在于,所述旋转测试平台包含一框体及多个夹持机构,所述框体具有一内周面,所述多个夹持机构分别能够沿所述Y方向位移地设置于所述内周面。
6.根据权利要求1所述的电子元件针测装置,其特征在于,更包含一摄影模块,设置于所述旋转测试平台上。
7.根据权利要求6所述的电子元件针测装置,其特征在于,更包含一第一位移组件,所述探针模块及所述摄影模块设置于所述第一位移组件上以同步沿所述X方向或所述Y方向位移或转动。
8.根据权利要求7所述的电子元件针测装置,其特征在于,更包含二第二位移组件,各所述第二位移组件分别设置于所述第一位移组件上,所述探针模块及所述摄影模块分别设置于二所述第二位移组件上而能分别沿所述X方向、所述Y方向及所述Z方向位移。
9.根据权利要求1所述的电子元件针测装置,其特征在于,更包含二导杆、一滑杆及一顶柱结构,二所述导杆设置于所述旋转测试平台并沿所述X方向延伸,所述滑杆沿所述Y方向延伸且能够滑移地设置于二所述导杆之间,所述顶柱结构能够沿所述Z方向位移并能够滑移地设置于所述滑杆。
10.根据权利要求1所述的电子元件针测装置,其特征在于,更包含一吊挂模块,所述吊挂模块包含一支架、一滑车以及一卷扬机,所述支架固定于所述机架上,所述滑车能够沿所述X方向滑移地设置于所述支架上,所述卷扬机设置于滑车上。
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