[发明专利]具有增透膜的多谱段TDICCD结构

摘要

本发明公开了一种具有增透膜的多谱段TDICCD结构，包括多个谱段，每个谱段均包括级数选通栅和多个像元，每个像元的左端和右端均设有沟阻，每个所述像元均包括增透膜开窗区域和垂直CCD区域，在所述增透膜开窗区域的上端和下端均设有沟阻，在所述增透膜开窗区域履盖有增透膜,所述垂直CCD区域履盖有复合栅介质，所述复合栅介质履盖有垂直CCD驱动栅。本发明提出了一种新的TDICCD结构，通过采用增透模开窗结构大大减少了垂直CCD驱动栅的覆盖面积，在开窗区域内增大了光线的透射率；级数选通栅CSS引线和垂直CCD驱动栅引线采用分区走线的结构，提高了像元占空比，改善了器件的量子效率。