[发明专利]一种挡板修正方法、镀膜方法和装置有效
| 申请号： | 202010222435.6 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111286699B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 罗晋;吴倩;王震;潘峰;罗振飞;杜雅薇;胡建平;卫耀伟;张飞;李树刚;唐明;王健;张清华;刘民才 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐正瑜 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请提供一种挡板修正方法、镀膜方法和装置，用于对平面行星式旋转镀膜工艺中挡板的形状进行修正，所述方法包括：获取待镀膜元件上多个待遮挡点的镀膜轨迹，以及获取每一待遮挡点对应的原始膜厚，以及获取待修正挡板中与多个待遮挡点对应的遮挡角；根据所述遮挡角确定所述待修正挡板的外形；根据每一待遮挡点对应的镀膜轨迹和所述待修正挡板的外形，计算得到所述待遮挡点对应的实际遮挡膜厚，所述实际遮挡膜厚为根据模拟所述待修正挡板进行遮挡后得到的；根据所有待遮挡点的原始膜厚以及对应的实际遮挡膜厚，对所述待修正挡板进行修正，得到目标挡板。通过理论计算的方式对挡板进行修正，可以提高挡板修正的精确和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 挡板 修正 方法 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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