[发明专利]一种尖晶石微米颗粒的球差矫正TEM样品制备方法有效
| 申请号： | 202010215865.5 | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN111537533B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 王磊;曲迪;姬静远;白国人;陈帅;陈景春 | 申请（专利权）人： | 天津华慧芯科技集团有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2005 | 分类号： | G01N23/2005;G01N1/28 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 蒙建军 |
| 地址： | 300467 天津市滨海新区生态城*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种尖晶石微米颗粒的球差矫正TEM样品制备方法，属于材料加工技术领域，其特征在于，包括如下步骤：S1、制样和筛选颗粒，其中，制样过程：首先准备一片1cm×1cm硅片，用牙签或棉签蘸取适量粉末样品，将粉末样品蹭在上述硅片上；然后用高压氮气枪间断的吹5～10次；最后用双面碳胶带将硅片固定在样品台上；筛选颗粒过程：首先，进样后，移动样品台，在SEM下寻找单独的、无磨损的、待观察的截面垂直于硅片表面的颗粒；然后，通过旋转样品台，将要提取的颗粒截面方向转平；S2、沉积pt保护层；S3、挖大槽；S4、U形切，S5、提取薄片；S6、放样；S7、减薄和低电压清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尖晶石 微米 颗粒 矫正 tem 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
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