[发明专利]中转装置及烘干设备在审
| 申请号： | 202010191230.6 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111219978A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 无锡先导智能装备股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/00 | 分类号： | F26B25/00;F26B15/20;F26B21/00;F26B21/04;F26B25/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种中转装置，其包括设置于处理箱内的、能够自下而上输送基板的第一传送机构以及能够自上而下输送基板第二传送机构；由此，基板在处理箱内能够经由第一传送机构和第二传送机构进行两次传送；一方面，通过第一传送机构和第二传送机构的两次传递，能够延长基板在处理箱内的停留时间，另一方面，通过第一传送机构和第二传送机构的反向传递，能够使得基板回到上料的底部或者顶部，方便基板进出。本申请还提供了一种烘干设备，其包括上述中转装置，通过加热组件能够对处理箱内进行加热；通过第一抽气组件，能够对处理箱内进行抽气，进而加速处理箱内气流流通；由此，提高烘干效率，并保证处理箱内温度稳定、确保烘干效果。 | ||
| 搜索关键词： | 中转 装置 烘干 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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