[发明专利]中转装置及烘干设备

权利要求书

1.一种中转装置，其特征在于，包括：

第一传送机构(10)，能够自下而上输送基板(1)；

第二传送机构(20)，能够自上而下输送基板(1)；

转移机构(30)，能够自所述第一传送机构(10)接取基板(1)、并将所述基板(1)转移到所述第二传送机构(20)中；或者，能够自所述第二传送机构(20)接取基板(1)、并将所述基板(1)转移到所述第一传送机构(10)中；

处理箱(40)，所述第一传送机构(10)和所述第二传送机构(20)设于所述处理箱(40)内；

其中，通过所述第一传送机构(10)和所述第二传送机构(20)的两次传递，能够延长基板(1)在所述处理箱(40)内的停留时间。

2.根据权利要求1所述的中转装置，其特征在于，所述第一传送机构(10)和所述第二传送机构(20)采用至少一组链式传送机构；所述链式传送机构包括：主动齿轮(11)、从动齿轮(12)以及套设在所述主动齿轮(11)和所述从动齿轮(12)上的链条(13)；

所述链条(13)外侧间隔设置有多个能够承接基板(1)的承托件(15)；

其中，所述主动齿轮(11)由主动驱动件(14)驱动、通过所述链条(13)、能够带动所述从动齿轮(12)旋转，进而使得所述链条(13)循环流转；基板(1)进入所述链式传送机构后，能被所述承托件(15)承接，进而跟随所述链条(13)进行流转。

3.根据权利要求2所述的中转装置，其特征在于，所述第一传送机构(10)或所述第二传送机构(20)包括两组相对设置的所述链式传送机构；

两组所述链式传送机构的所述承托件(15)相对，能够同时承接基板(1)的两侧，以便于稳定地承接基板(1)。

4.根据权利要求1所述的中转装置，其特征在于，所述转移机构(30)包括至少一组搬运组件；所述搬运组件包括：

搬运件(31)，用于承接基板(1)；

第一转移驱动件(32)，连接所述搬运件(31)、并能够驱动所述搬运件(31)沿水平方向运动；

第二转移驱动件(33)，连接所述搬运件(31)、并能够驱动所述搬运件(31)沿竖直方向运动；

其中，所述搬运件(31)承接基板(1)后，所述第二转移驱动件(33)驱动所述搬运件(31)上升，使得所述基板(1)脱离所述第一传送机构(10)或所述第二传送机构(20)；所述第二转移驱动件(33)驱动所述搬运件(31)平移，以将所述基板(1)转移。

5.根据权利要求4所述的中转装置，其特征在于，所述转移机构(30)包括两组所述搬运组件；

两组所述搬运组件相对设置，能够搬运基板(1)暴露在所述第一传送机构(10)或所述第二传送机构(20)外的两侧，进而保证基板(1)的稳定搬运。

6.一种烘干设备，其特征在于，包括权利要求1-5任一项所述的中转装置；其中，所述处理箱(40)内设有烘干机构，所述烘干机构包括：

加热组件(41)，能够对所述处理箱(40)内进行加热；

第一抽气组件(42)，能够对所述处理箱(40)内进行抽气，进而加速所述处理箱(40)内气流流通。

7.根据权利要求6所述的烘干设备，其特征在于，所述加热组件(41)包括

加热棒，设于所述处理箱(40)内、以对所述处理箱(40)内进行加热；

两组热电偶，其中一组设于所述加热棒一侧，能够检测加热温度；另一组设于所述第一抽气组件(42)一侧，能够检测出风口温度。

8.根据权利要求6所述的烘干设备，其特征在于，所述烘干机构还包括第二抽气组件(43)，能够对所述处理箱(40)内进行抽气，进而调控所述处理箱(40)内的温度。