[发明专利]中转装置及烘干设备

说明书

本申请公开了一种中转装置，其包括设置于处理箱内的、能够自下而上输送基板的第一传送机构以及能够自上而下输送基板第二传送机构；由此，基板在处理箱内能够经由第一传送机构和第二传送机构进行两次传送；一方面，通过第一传送机构和第二传送机构的两次传递，能够延长基板在处理箱内的停留时间，另一方面，通过第一传送机构和第二传送机构的反向传递，能够使得基板回到上料的底部或者顶部，方便基板进出。本申请还提供了一种烘干设备，其包括上述中转装置，通过加热组件能够对处理箱内进行加热；通过第一抽气组件，能够对处理箱内进行抽气，进而加速处理箱内气流流通；由此，提高烘干效率，并保证处理箱内温度稳定、确保烘干效果。

技术领域

本申请涉及自动化设备技术领域，具体涉及一种中转装置及烘干设备。

背景技术

处理基板时，可能需要对基板进行清洗、冷却、加热或者其他加工工艺；此时，基板需要长时间处于处理箱内。

传统设备、一实施方式中，基板进入处理箱后，会直接停留在处理箱内；待工艺结束，再将基板取出；可知，此实施方式中，后续待处理的基板需要等待前一批基板处理结束，再进行处理，工作效率低。

另一实施方式中，基板不停留，持续向前运输，但为了保证处理时间，需要将处理箱设置得比较长，以便于基板在处理箱内运输的时间正好满足处理时间的需要；可知，此实施方式中，设备整体占地大、制作成本高。

发明内容

本申请提供了一种中转装置及烘干设备，以解决现有技术中生产效率低、或者设备占地大的技术缺陷。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种中转装置，其包括：第一传送机构，能够自下而上输送基板；第二传送机构，能够自上而下输送基板；转移机构，能够自第一传送机构接取基板、并将基板转移到第二传送机构中；或者，能够自第二传送机构接取基板、并将基板转移到第一传送机构中；处理箱，第一传送机构和第二传送机构设于处理箱内；其中，通过第一传送机构和第二传送机构的两次传递，能够延长基板在处理箱内的停留时间。

进一步地，第一传送机构和第二传送机构采用至少一组链式传送机构；链式传送机构包括：主动齿轮、从动齿轮以及套设在主动齿轮和从动齿轮上的链条；链条外侧间隔设置有多个能够承接基板的承托件；其中，主动齿轮由主动驱动件驱动、通过链条、能够带动从动齿轮旋转，进而使得链条循环流转；基板进入链式传送机构后，能被承托件承接，进而跟随链条进行流转。

进一步地，第一传送机构或第二传送机构包括两组相对设置的链式传送机构；两组链式传送机构的承托件相对，能够同时承接基板的两侧，以便于稳定地承接基板。

进一步地，转移机构包括至少一组搬运组件；搬运组件包括：搬运件，用于承接基板；第一转移驱动件，连接搬运件、并能够驱动搬运件沿水平方向运动；第二转移驱动件，连接搬运件、并能够驱动搬运件沿竖直方向运动；其中，搬运件承接基板后，第二转移驱动件驱动搬运件上升，使得基板脱离第一传送机构或第二传送机构；第二转移驱动件驱动搬运件平移，以将基板转移。

进一步地，转移机构包括两组搬运组件；两组搬运组件相对设置，能够搬运基板暴露在第一传送机构或第二传送机构外的两侧，进而保证基板的稳定搬运。

本申请还提供了一种烘干设备，其包括上述中转装置；其中，处理箱内设有烘干机构，烘干机构包括：加热组件，能够对处理箱内进行加热；第一抽气组件，能够对处理箱内进行抽气，进而加速处理箱内气流流通。

进一步地，加热组件包括加热棒，设于处理箱内、以对处理箱内进行加热；两组热电偶，其中一组设于加热棒一侧，能够检测加热温度；另一组设于第一抽气组件一侧，能够检测出风口温度。

进一步地，烘干机构还包括第二抽气组件，能够对处理箱内进行抽气，进而调控处理箱内的温度。