[发明专利]一种双面发电的PERL太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明涉及太阳能电池制备领域，公开了一种双面发电的PERL太阳能电池及其制备方法，通过先将P型硅片进行清洗、制绒、抛光、背钝化、正面沉积N+掺杂层和SiNx膜、背面印刷硼浆料处理，然后采用激光形成背面局域开口和重掺杂层，最后通过印刷形成背面栅线和正面栅线，再经烧结形成本发明电池。本发明制备工艺相对简单，形成的局域开口宽度大幅度减少，在保证接触的同时减少了SiNx膜的损伤和激光对硅片造成的损伤面积。且硼掺杂形成的局域重掺杂层厚度较厚，使得背面电极在烧结时不会破坏局域重掺杂层，能形成良好的欧姆接触。本发明电池背面电极为栅线结构，也可以接收光照，从而实现了双面发电，增加了太阳能电池的光电转换效率。