[发明专利]一种基于石墨烯表面吸附效应的光电探测器制备方法

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯表面吸附效应的光电探测器制备方法，属于光电探测器技术领域。本发明中石墨烯光电探测器的制备方法包括：在衬底上制备绝缘层；在绝缘层上引入单层石墨烯；在带有石墨烯的衬底上制备涂覆层；使用丙酮处理涂覆层，石墨烯因表面吸附效应黏附少量光刻胶；通过热蒸发制备金属电极；得到光刻胶增强型石墨烯光电探测器。该制备方法成功在石墨烯表面吸附均匀的光刻胶，可以有效提高光吸收率，进而提高石墨烯光电探测器的光响应。本发明的制备方法具有工艺流程简单，易于大面积制作并且与石墨烯材料相兼容等优点，有望用于大面积石墨烯光电探测器的制备。