[发明专利]制作光学薄膜的方法、膜系结构、镀膜方法、激光反射镜有效
| 申请号： | 202010164265.0 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN111235527B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 卫耀伟;王震;张飞;李树刚;唐明;吴倩;潘峰;罗晋;罗振飞;刘民才;张清华;王健;许乔 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/10 | 分类号： | C23C14/10;C23C14/08;C23C14/46;C23C14/54;G02B1/10;G02B5/08 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 付兴奇 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种制作光学薄膜的方法、膜系结构、镀膜方法、激光反射镜，属于光学设备领域。该方法包括：在基板之上，制作满足光谱指标的第一膜堆；在第一膜堆之上，制作满足面形指标的第二膜堆；在所述第二膜堆之上，制作满足损伤指标的第三膜堆。通过上述方法获得光学薄膜可以实现高综合指标的激光反射膜的高合格率制备。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 光学薄膜 方法 结构 镀膜 激光 反射 | ||
【主权项】：
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