[发明专利]导电性高分子组合物、覆盖品及图案形成方法在审
| 申请号： | 202010161707.6 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN111675963A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 长泽贤幸;增永惠一;小竹正晃;渡边聪 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C09D179/02 | 分类号： | C09D179/02;C09D5/24;C09D7/63;C09D11/102;C09D11/52;C09D11/03;G03F7/09 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的目的在于提供一种导电性高分子组合物，其能够适宜地用于过滤性及在电子束抗蚀剂上的平坦膜成膜性良好，并且由于低体积电阻率(Ω·cm)的性质而在电子束光刻工序中也显示优良的抗静电性能，且将因该膜而扩散的酸的影响降至最低从而减少对平版印刷的影响，并且描绘后的基于H |
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| 搜索关键词： | 导电性 高分子 组合 覆盖 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D179-00 基于在C09D 161/00至C09D 177/00组中不包括的，由只在主链中形成含氮的，有或没有氧或碳键的反应得到的高分子化合物的涂料组合物
C09D179-02 .聚胺
C09D179-04 .在主链中具有含氮杂环的缩聚物；聚酰肼；聚酰胺酸或类似的聚酰亚胺母体
C09D179-06 ..聚酰肼；聚三唑；聚氨基三唑；聚二唑
C09D179-08 ..聚酰亚胺；聚酯-酰亚胺；聚酰胺-酰亚胺；聚酰胺酸或类似的聚酰亚胺母体
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D179-00 基于在C09D 161/00至C09D 177/00组中不包括的，由只在主链中形成含氮的，有或没有氧或碳键的反应得到的高分子化合物的涂料组合物
C09D179-02 .聚胺
C09D179-04 .在主链中具有含氮杂环的缩聚物；聚酰肼；聚酰胺酸或类似的聚酰亚胺母体
C09D179-06 ..聚酰肼；聚三唑；聚氨基三唑；聚二唑
C09D179-08 ..聚酰亚胺；聚酯-酰亚胺；聚酰胺-酰亚胺；聚酰胺酸或类似的聚酰亚胺母体
