[发明专利]基于电泳的Micro LED排列机器人

摘要

本发明公开了一种基于电泳的Micro LED排列机器人，包括电泳槽、热交换器、阳极基板和阴极基板，热交换器连接有进液板和出液板，进液板设于阴极基板与电泳槽的内侧壁之间，出液板设于阳极基板与电泳槽的内侧壁之间；还包括元件定向固定膜和冷却氮气喷嘴，元件定向固定膜设于电泳槽内、且贴靠阴极基板，元件定向固定膜位于阳极基板与阴极基板之间，元件定向固定膜朝向阳极基板的表面上矩阵排列有若干元件容置井，冷却氮气喷嘴固定在电泳槽内侧壁的顶部、且与阴极基板位于同一侧，冷却氮气喷嘴的高度大于阴极基板和元件定向固定膜的高度；本发明能够实现巨量Micro LED定向排列在元件定向固定膜，且排列良率高，利于推动Micro LED显示技术的发展。