[发明专利]环氧化合物、抗蚀剂组合物、及图案形成方法有效
| 申请号： | 202010147905.7 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN111662249B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 提箸正义;谷口良辅;渡边武;松井良宪 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C07D303/40 | 分类号： | C07D303/40;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及环氧化合物、抗蚀剂组合物、及图案形成方法。本发明的课题为提供无损感度而能适当地控制产生自产酸剂的酸的扩散长度的抗蚀剂组合物、及使用了该抗蚀剂组合物的图案。该课题的解决方法为以下式(1)表示的环氧化合物、及含有该环氧化合物的抗蚀剂组合物。 |
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| 搜索关键词： | 氧化 抗蚀剂 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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