[发明专利]一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法在审
| 申请号： | 202010126547.1 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111238409A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 吴金才;窦永昊;张亮;何志平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度测量大角度光楔楔角的装置和方法，该发明基于光楔会使光束产生固定的角度偏转的原理，通过测量光束偏角大小来得到大角度光楔楔角的角度偏差。该装置由准直激光光源、带旋转结构的待检光楔、平行光管、面阵CCD组件组成，准直激光光源经过光楔折射后，再经过平行光管会聚于焦面的面阵CCD上。旋转待检光楔，通过旋转角度及面阵CCD上的光斑位置变化来准确测量光楔角度。本发明装置结构简单、成本低廉、检测方法简单，适用于光楔、平行平板等光学器件的批量生产及高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 测量 角度 光楔楔角 装置 方法 | ||
【主权项】：
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