[发明专利]一种从化合物半导体尾气回收高纯氨的装置及方法在审
| 申请号： | 202010124823.0 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN111389169A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 邱长春;范伟宏;乐昀;俞凯旋;丛卫军;赵霖;于洋;邱浩铭;刘智超 | 申请（专利权）人： | 大连中鼎化学有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D5/00;C01C1/12 |
| 代理公司： | 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人： | 李楠 |
| 地址： | 116039 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种从化合物半导体尾气回收高纯氨的装置及方法，属于环境与资源利用技术领域。主要技术方案为：包括依次连接的尾气缓冲罐、多级压缩机和低温再沸脱气氨液化装置，以及阀门、管道管件和控制系统；所述的低温再沸脱气氨液化装置包括透平膨胀机、主换热器、冷凝塔、再沸脱气塔、液氨储存釜，在液氨储存釜内部设有次换热器，再沸脱气塔的底部与液氨储存釜连接。本发明大大地降低了LED和化合物半导体生产的成本，提高了器件生产产量，具有回收效率高、回收的液氨纯度高、纯化深度好、回收成本低的显著特点，同时实现节能减排、节能环保和资源综合利用的目的，促进本领域发展，具有无可比拟的技术优势和广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化合物 半导体 尾气 回收 高纯 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连中鼎化学有限公司，未经大连中鼎化学有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010124823.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：游戏道具的确定方法、装置及存储介质
- 下一篇：一种扳手
