[发明专利]一种AlN非晶薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202010117282.9 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN111206213B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 刘刚;左家栋;孙军;王亚强;张金钰;吴凯 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 马贵香 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种AlN非晶薄膜及其制备方法，AlN薄膜为无序非晶态，其非晶特征在300℃下能够保持，在保持其非晶特征的条件下，AlN非晶薄膜显示出随温度变化的热致变色现象，变色温度区间为70‑100℃。在加热过程中，薄膜材料未出现结晶或相变，与传统热致变色材料依靠相变产生变色的机理有本质区别，该AlN非晶薄膜不依赖晶体结构以及相变的热致变色机制，AlN非晶薄膜的热致变色温度区间接近室温，加热前后颜色转变明显，变色随温度变化响应快速。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 aln 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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