[发明专利]一种微压传感器的制作工艺方法有效
| 申请号： | 202010103197.7 | 申请日： | 2020-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN111238714B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 赵晓锋;武静;刘义波;温殿忠 | 申请（专利权）人： | 黑龙江大学 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06;G01L1/18 |
| 代理公司： | 北京康思博达知识产权代理事务所(普通合伙) 11426 | 代理人： | 刘冬梅;范国锋 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微压传感器及其制作工艺方法，所述微压传感器包括SOI衬底，在所述SOI衬底上设置有弹性元件和敏感元件，以实现对外加微压的测量；其中，弹性元件包括弹性硅膜和四个梯形梁结构，敏感元件为梯形梁结构上四个压敏电阻构成的惠斯通电桥结构。本发明通过微电子机械加工技术在SOI晶圆上制作弹性硅膜、四个梯形梁结构和四个压敏电阻，具有集成化和小型化的特点，构成的微压传感器能够实现对外加压力的检测且能实现微压测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 制作 工艺 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于黑龙江大学，未经黑龙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010103197.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
