[发明专利]一种OLED掩膜版清洗剂及其清洗工艺有效
申请号: | 202010093828.1 | 申请日: | 2020-02-14 |
公开(公告)号: | CN111172550B | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
发明(设计)人: | 刘小勇;田博;颜如彩 | 申请(专利权)人: | 福建省佑达环保材料有限公司 |
主分类号: | C23G5/032 | 分类号: | C23G5/032;C23G5/036 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 修斯文;蔡学俊 |
地址: | 362100 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: |
本发明属于精细金属掩膜版清洗剂制备技术领域,尤其涉及一种OLED掩膜版用的清洗剂及其清洗工艺。以质量百分含量计,其组成如下:醇醚类溶剂20%~50%;极性非质子溶剂20%~50%;含氟的非离子表面活性剂1%~10%;去离子水10%~30%;所述含氟的非离子表面活性剂,其结构式为; |
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搜索关键词: | 一种 oled 掩膜版清 洗剂 及其 清洗 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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