[发明专利]一种OLED掩膜版清洗剂及其清洗工艺有效

专利信息
申请号: 202010093828.1 申请日: 2020-02-14
公开(公告)号: CN111172550B 公开(公告)日: 2022-03-11
发明(设计)人: 刘小勇;田博;颜如彩 申请(专利权)人: 福建省佑达环保材料有限公司
主分类号: C23G5/032 分类号: C23G5/032;C23G5/036
代理公司: 福州元创专利商标代理有限公司 35100 代理人: 修斯文;蔡学俊
地址: 362100 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明属于精细金属掩膜版清洗剂制备技术领域,尤其涉及一种OLED掩膜版用的清洗剂及其清洗工艺。以质量百分含量计,其组成如下:醇醚类溶剂20%~50%;极性非质子溶剂20%~50%;含氟的非离子表面活性剂1%~10%;去离子水10%~30%;所述含氟的非离子表面活性剂,其结构式为;,n为8~14之间的自然数;本发明该清洗液能快速并有效清洗除去蒸镀工艺中FMM上附着的RGB光色染料,而且易清洗不残留,有效提高FMM清洗效率。
搜索关键词: 一种 oled 掩膜版清 洗剂 及其 清洗 工艺
【主权项】:
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