[发明专利]一种压电式MEMS传感器以及相关设备在审
| 申请号： | 202010076995.5 | 申请日： | 2020-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN113163312A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 姚丹阳;冯志宏;徐景辉 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 王仲凯 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种压电式MEMS传感器以及相关设备，该传感器可应用于终端、智能音响、无线蓝牙耳机、主动降噪耳麦及笔记本、汽车工业等场景中，该压电式MEMS传感器包括具有进声通道的基座，基座的端面固定有支撑层，支撑层覆盖进声通道的通道口，压电式MEMS传感器还包括压电单元，压电单元位于支撑层背离基座的表面，压电单元用于在来自于进声通道的声音信号的作用下获取对应的电压，压电单元包括多个感应件，多个感应件中任意相邻的两个感应件之间形成有间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 mems 传感器 以及 相关 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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