[发明专利]一种搬舟装置在审
| 申请号： | 202010072339.8 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN111180376A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 刘群;庞爱锁;林佳继;朱太荣;林依婷 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种搬舟装置，包括搬舟支撑柱、传动杆、一级手臂、二级手臂、搬舟抓手以及动能装置构成；所述搬舟支撑柱共两根，两根搬舟支撑柱对称设置；所述一级手臂对称设置与两根搬舟支撑柱上；所述动能装置固定设置于搬舟支撑柱以及一级手臂上；所述传动杆设置于一级手臂以及搬舟支撑柱之间，传动杆的一端与动能装置连接；所述二级手臂设置于一级手臂；所述搬舟抓手设置于二级手臂；在本发明中通过皮带和X轴伺服电机的配合实现二级手臂和搬舟抓手的运动由一个电机控制，减少误操作的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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