[发明专利]一种压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010071895.3 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN111141446A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 费友健;娄帅;邹安邦;刘召利 | 申请（专利权）人： | 南京新力感电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/00 | 分类号： | G01L19/00;G01L19/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 彭琰 |
| 地址： | 210019 江苏省南京市建邺*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力传感器及其制备方法，该压力传感器包括主体结构、设于主体结构一端的信号输出端子、以及设于主体结构内部的压力传感组件，主体结构内部设有空腔，主体结构远离信号输出端子的一端设有连通空腔的介质通道，压力传感组件包括：载板，隔离空腔和介质通道；压力传感芯片，通过导电结构倒装焊接于载板的底部，且正对介质通道；电路板，设置于空腔内，并分别与信号输出端子和导电结构电性连接。本发明通过倒装焊技术将压力传感芯片直接倒装焊接于载板的底部，简化了封装工艺，降低产品成本；此外，通过载板来代替电路板去承受介质压力，避免电路板损坏，同时还将压力传感芯片正对介质通道，芯片不易脱落，能兼容更多介质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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