[发明专利]一种高衍射效率相位型空间光调制器

摘要

本发明公开一种高衍射效率相位型空间光调制器，在可独立寻址硅基集成电路上设置吸收层，像素电极设置在吸收层表面，在像素电极上制备纳米柱超表面，像素电极作为下基板，导电玻璃作为上基板，在上、下基板间灌注液晶。本发明通过在像素电极内随机分布多个纳米柱阵列结构有效增大器件视场角，可适用于实时计算的全息成像。本发明通过像素电极施加电压改变液晶指向矢方向，从而改变了纳米柱结构周围局部环境的等效折射率和共振现象，主要相位调制作用发生在纳米柱结构内而不是液晶层中，有效减少液晶层厚度，减弱了边缘场效应同时有效地提高了空间光调制器响应速度。该器件利用MIM超材料结构几乎完美的吸收影响器件应用的零级光波。