[发明专利]一种测量微透镜阵列焦距的方法有效
| 申请号： | 202010050773.6 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111220361B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 曾发;代万俊;张晓璐;薛峤;田晓琳;李森;龙蛟;宗兆玉;梁樾;赵军普;张君 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 张明利 |
| 地址： | 621999 四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量微透镜阵列焦距的方法，属于光学检测技术领域，将检测光源、准直扩束模块、微透镜阵列和光电探测器依次同光轴设置，采集光束经过微透镜阵列后不同传播距离下对应的多幅光斑阵列图像，计算给定阈值与能量比例系数下各子光斑的等效面积，对光电探测器沿轴向的相对位移量进行修正，对光束经过微透镜的光场传输进行建模，采用梯度类迭代优化算法，求解微透镜的焦距，本发明在测量过程中无需使用平行光管、干涉仪、精密转台、分光光栅等高精密光电设备及元器件，不要求对微透镜阵列焦面位置进行准确定位，适用于宽带检测光源和单色检测光源，操作简便易行，可同时实现对多个微透镜焦距的高效率、高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 透镜 阵列 焦距 方法 | ||
【主权项】：
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