[发明专利]一种柔性自支撑ZnO紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种柔性自支撑ZnO紫外探测器，属于紫外探测技术领域，包括：四足状ZnO纳米结构层、设置于所述四足状ZnO纳米结构层表面的两个电极及柔性衬底；所述四足状ZnO纳米结构层独立存在实现自支撑，通过转移置于所述柔性衬底上。本发明还提供了一种柔性自支撑ZnO紫外探测器的制备方法。本发明的紫外探测器采用四足状ZnO纳米结构层，具有特殊的四足状结构，以四根纳米线为一个单元，堆叠成絮状自支撑结构，简单且高效地获得响应速度快的柔性紫外探测器；四足状ZnO纳米结构层结晶质量高、性能优异，光暗抑制比高，响应速度快，可应用于柔性紫外探测器的制造，有效解决现有ZnO微纳结构柔性紫外探测器中衬底不耐高温的问题。