[发明专利]一种制作薄膜光电传感材料的工具及方法在审
| 申请号： | 202010020439.6 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111139515A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 刘佐濂;康雁泉;冯君怡;潘书生 | 申请（专利权）人： | 广州大学 |
| 主分类号： | C25F3/12 | 分类号： | C25F3/12;C25F7/00;C23C14/02;C23C16/02;G01D5/26 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 黎扬鹏 |
| 地址： | 510006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制作薄膜光电传感材料的工具及方法。该工具包括单槽电解槽和镀膜机，其中所述单槽电解槽包括筒柱、底板、铝板、阳极触头和阴极触头，筒柱和底板共同构成用于盛放电解溶液的槽体；底板设置于筒柱的底部，用于镶嵌硅片；铝板设置于底板下方，一端与底板接触，另一端与阴极触头接触；阳极触头深入筒柱内，用于与电解溶液接触。该方法用于通过所述工具制作薄膜光电传感材料。通过使用本方法的工具及方法，可以在制备硅材料复合薄膜的硅材料基底时省去对硅片封胶处理的步骤，简化工艺流程，同时还能够改善产品的光电响应性能。本发明可广泛应用于光电材料技术领域内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作 薄膜 光电 传感 材料 工具 方法 | ||
【主权项】：
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