[发明专利]一种制作薄膜光电传感材料的工具及方法

权利要求书

1.一种制作薄膜光电传感材料的工具，其特征在于，包括：

单槽电解槽，用于对硅片进行刻蚀，获取多孔硅；

镀膜机，用于在所述多孔硅的表面镀上薄膜，制备多孔硅复合薄膜；

其中，所述单槽电解槽包括筒柱、底板、铝板、阳极触头和阴极触头；所述筒柱和底板共同构成用于盛放电解溶液的槽体；所述底板设置于筒柱的底部，所述底板用于镶嵌硅片，所述铝板设置于底板下方，所述铝板的一端与底板接触，所述铝板的另一端与阴极触头接触；所述阳极触头深入筒柱内，用于与电解溶液接触。

2.根据权利要求1所述的一种制作薄膜光电传感材料的工具，其特征在于：所述底板上设置有一孔洞，所述孔洞用于放置硅片。

3.根据权利要求2所述的一种制作薄膜光电传感材料的工具，其特征在于：所述底板上还设置有密封圈，用于在硅片放置在孔洞中时使得底板密封。

4.根据权利要求1所述的一种制作薄膜光电传感材料的工具，其特征在于：所述底板上设置有至少一个螺孔，所述螺孔用于固定所述铝板。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种制作薄膜光电传感材料的工具，其特征在于：所述筒柱与底板可拆卸式连接。

6.一种制作薄膜光电传感材料的方法，用于通过所述工具制作薄膜光电传感材料，其特征在于，包括以下步骤：

选取硅片进行单面抛光，将所述硅片以抛光面向内的方式装入单槽电解槽底板的孔洞中；

将单槽电解槽铝板与底板贴合固定，使得所述硅片的未抛光面与铝板形成良好电连接；

向所述单槽电解槽的筒柱内倒入电解溶液，将阳极触头和阴极触头连接至电源进行电解，获取多孔硅；

将所述多孔硅作为基底，选取薄膜材料使用镀膜机对所述多孔硅进行镀膜，获取多孔硅复合薄膜。

7.根据权利要求6所述的一种制作薄膜光电传感材料的方法，其特征在于：所述将所述硅片以抛光面向内的方式装入单槽电解槽底板的孔洞中这一步骤，其还包括以下步骤：

向所述单槽电解槽的筒柱内倒入定量的水，检测所述底板是否出现漏水现象；

若所述底板出现漏水，则重新安装硅片和/或更换大小不同的硅片。

8.根据权利要求6所述的一种制作薄膜光电传感材料的方法，其特征在于：所述电解溶液为10-30％质量浓度的氢氟酸/乙醇混合溶液。

9.根据权利要求6所述的一种制作薄膜光电传感材料的方法，其特征在于：所述电源的电流密度设置为20mA/cm²，电解时间不小于20分钟。