[发明专利]一种墨水的快速制备方法、薄膜的制备方法和氧化物薄膜晶体管的制备方法有效

专利信息
申请号: 202010009764.2 申请日: 2020-01-06
公开(公告)号: CN111171625B 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 李喜峰;袁雁妤;荆斌;张建华;陈龙龙 申请(专利权)人: 上海大学
主分类号: C09D11/03 分类号: C09D11/03;C09D11/033;C09D11/38;C09D11/36;H01L21/02;H01L21/34
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 刘潇
地址: 200444*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种墨水的快速制备方法、薄膜的制备方法和氧化物薄膜晶体管的制备方法,属于薄膜晶体管技术领域。本发明提供的墨水的快速制备方法,包括如下步骤:将金属盐原料、有机溶剂和稳定剂混合,得到原料混合液;所述有机溶剂为醇醚类溶剂或醇类溶剂;将超声波变幅杆浸入原料混合液中,超声处理5~20min,得到墨水。本发明使用超声波变幅杆进行超声处理,可使金属盐原料在室温下短时间内完成醇解反应,极大程度缩短了墨水的制备时间,提高了墨水的制备效率,克服了水浴法高温长时间的缺点,将本发明所制备的墨水制备成薄膜后,其性能与水浴法所得薄膜相当或更好。此外,本发明所提供的制备方法工艺简单,易于操作,适合工业化应用。
搜索关键词: 一种 墨水 快速 制备 方法 薄膜 氧化物 薄膜晶体管
【主权项】:
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