[发明专利]一种墨水的快速制备方法、薄膜的制备方法和氧化物薄膜晶体管的制备方法有效
| 申请号： | 202010009764.2 | 申请日： | 2020-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN111171625B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 李喜峰;袁雁妤;荆斌;张建华;陈龙龙 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | C09D11/03 | 分类号： | C09D11/03;C09D11/033;C09D11/38;C09D11/36;H01L21/02;H01L21/34 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘潇 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 墨水 快速 制备 方法 薄膜 氧化物 薄膜晶体管 | ||
【权利要求书】：
1.一种氧化物薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
将金属盐原料、有机溶剂和稳定剂混合，得到原料混合液；所述有机溶剂为醇醚类溶剂或醇类溶剂；
将超声波变幅杆浸入所述原料混合液中，超声处理5~20min，得到墨水；
将所述墨水在衬底上成膜，然后经退火，得到薄膜；所述薄膜为有源层；
在所述有源层上制备源极和漏极，得到氧化物薄膜晶体管。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述超声处理的功率为20~400W。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述金属盐原料为制备薄膜晶体管的有源层所需的金属盐。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述醇醚类溶剂为乙二醇甲醚，所述醇类溶剂为乙醇。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述稳定剂为乙醇胺。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述成膜的方法为喷墨打印法或旋涂法。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述退火的温度为200~550℃，退火的时间为30~180min。
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