[发明专利]对准标记的中心坐标的生成方法有效
| 申请号： | 202010000526.5 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111142343B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 方红;姜鹏;黄乐 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种对准标记的中心坐标的生成方法，所述生成方法包括取得至少一个对准标记单元,所述对准标记单元至少包括对准标记；对所述对准标记单元提取所述对准标记的至少一部分,建立所述对准标记的映对标记；以及就所述映对标记,计算出所述映对标记的中心坐标。本发明通过提取出对准标记中具有对称性的映对标记额外做中心坐标的计算，进而得到精准的对准标记的中心坐标。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 中心 标的 生成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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